1996
Diploma Thesis
Title

Auflösungsverbesserung der optischen Lithographie mit transparenten phasenschiebenden Masken zur Herstellung von Lackstrukturen im Sub-0.25-Mikrometer-Bereich

Thesis Note
Isny, FH, Dipl.-Arb., 1996
Author(s)
Lengsfeld, M.
Language
German
Keyword(s)