Korrosionsphänomene im mikroelektronischen System

Der Einfluss von korrosiven Phänomenen auf mikroelektronischen Systemen ist einer der kritischsten Effekte im Hinblick auf die Langzeitbeständigkeit. Beschleunigte Zuverlässigkeitstests berücksichtigen diese Problematik nur unzureichend. Systeme für den Bereich ,Power Elektronik? sind durch die hochkritischen und zum Teil extremen Umgebungsbedingungen besonders gefordert. Als Schutzmaßnahme nutzt man oft polymere Schutzverkapselungen. Diese sind zwar nicht hermetisch, bieten aber einen guten Kompromiss zwischen Systemgröße und Kosten für die Mehrzahl der Anwendungen. Problematisch ist hierbei die Permeabilität der Polymere, die den Zugang von Feuchte und auch korrosiv wirkenden Gasen in das Gehäuse erlauben, somit die elektronischen Funktionsstrukturen auf dem Chip, die Bond-Drähte und -Flächen, die Leadframes und gar die Lotkontakte schädigen können. Korrosion ist somit ein besonders für die Langzeitbeständigkeit persistentes Problem und kann nur aus Systemsicht angegangen werden. Hier wird nun versucht die korrosionsinduzierte Degradation von mikroelektronischen Gehäusen in einer Übersicht darzustellen und Messverfahren zum Nachweis der Schutzeignung von Verkapselungslagen unter Nutzung elektrochemischer Messtechniken darzulegen.