Funktionsflächenreinigung mit CO2-Schnee

Bauteile der Mikro- und Feinwerktechnik sind oftmals charakterisiert durch kleine eng begrenzte Flächen, fein strukturierte Oberflächen und Kombinationen unterschiedlichster Werkstoffe (hybride Systeme). Prozess- und Funktionsflächen mikrotechnischer Bauteile müssen dadurch in engen Prozessfenstern gereinigt werden können, die nur durch Strahlverfahren zu realisieren sind. Kohlendioxid besitzt in seinen vier Aggregatzuständen jeweils herausragende Eigenschaften zur Reinigung unterschiedlichster Produkte. Zur Reinigung definierter technischer Oberflächen bieten sich hiervon die beiden feststoffbasierten Strahlverfahren mit CO2-Schnee und CO2-Pellets an. Für die Anwendung als Spot- oder Linienreinigungsverfahren, insbesondere für empfindliche und feinstrukturierte Oberflächen, erweist sich das Strahlen von CO2-Schneekristallen als die geeignetere Methode. Die CO2-Schneekristalle ermöglichen aufgrund ihrer geringen Härte, ihrer Winzigkeit und ihrer hohen Intensität eine schonende Reinigung bei homogenem Reinigungsergebnis. Die Effizienz des Reinigungsstrahlens mit CO2-Schnee ist beispielhaft für Anwendungen aus der Mikrotechnik, der Elektrotechnik, der Klebetechnik, der Elektronik und der Vakuumtechnik aufgezeigt.