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1988
Conference Paper
Title
Evaluation of semiconductor manufacturing equipment with respect to particle generation
Abstract
Der Artikel handelt von den verschiedenen Methoden zur Messung und Bestimmung von Partikelverunreinigungen in Luft, Grasen, Flüssigkeiten und auf Oberflächen. Er beschreibt ein Prüfzentrum, das am IPA für solche Untersuchungen eingerichtet wurde, dessen Ziele, Ausrüstungen und Tätigkeiten. Es werden Ergebnisse und Erfahrungen beschrieben, die in den bisherigen Untersuchungen erzielt wurden. (IPA)