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Reduzierung der Nichtlinearitaet von Siliziumdrucksensoren fuer kleine Druecke

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dc.contributor.authorSandmaier, H.
dc.contributor.authorObermeier, E.
dc.date.accessioned2022-03-08T17:28:56Z
dc.date.available2022-03-08T17:28:56Z
dc.date.issued1986
dc.description.startpageS.159 : Abb.,Lit.
dc.identifier.urihttps://publica.fraunhofer.de/handle/publica/314431
dc.language.isode
dc.relation.conferenceFachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung 1986
dc.relation.publicationSensoren - Technologie und Anwendung
dc.subjectDruck(klein)
dc.subjectNichtlinearitaet
dc.subjectReduzierung
dc.subjectSiliziumdrucksensor
dc.titleReduzierung der Nichtlinearitaet von Siliziumdrucksensoren fuer kleine Druecke
dc.typeconference paper
dspace.entity.typePublication
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publica.date26.09.1997
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publica.mig.conferenceFachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung <3, 1986, Bad Nauheim>
publica.mig.conferenceid12635
publica.mig.recordnumber25523

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