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  4. Nano-Computertomographie - ein wertvolles Hilfsmittel bei metallographischen Untersuchungen zur Schadensanalyse mikroelektronischer und mikrotechnischer Komponenten
 
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2008
Conference Paper
Title

Nano-Computertomographie - ein wertvolles Hilfsmittel bei metallographischen Untersuchungen zur Schadensanalyse mikroelektronischer und mikrotechnischer Komponenten

Author(s)
Faust, W.
Noack, E.
Michel, B.
Mainwork
Fortschritte in der Metallographie - Vortragstexte der 42. Metallographie-Tagung 2008  
Conference
Metallographie-Tagung 2008  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
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