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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Quantification and reduction of deformations in multilayer soft-NIL stamps
 
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2016
Poster
Title

Quantification and reduction of deformations in multilayer soft-NIL stamps

Title Supplement
Poster presented at MNE 2016, 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering, 19-23 September 2016, Vienna, Austria
Author(s)
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Papenheim, Marc
Lehrstuhl für Mikrostrukturtechnik, Bergische Universität Wuppertal
Rumler, Maximilian
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Stumpf, Florian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Baier, Leander  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Schlachter, Florian
AMO GmbH
Hornung, Michael
AMO GmbH
Scheer, Hella-Christin
Lehrstuhl für Mikrostrukturtechnik, Bergische Universität Wuppertal
Frey, Lothar
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Funder
Deutsche Forschungsgemeinschaft DFG  
Conference
International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE) 2016  
DOI
10.24406/publica-fhg-393402
File(s)
N-417560.pdf (1.47 MB)
Rights
Under Copyright
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • nanoimprint

  • composite stamp

  • stamp deformation

  • soft-NIL

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