Zuverlässigkeit in der Mikrosystemtechnik - Methoden, Verfahren, Grenzen

Bei der Entwicklung elektornischer Bauteile wird es zunehmend wichtiger bereits während der Entwicklungsphase Zuverlässigkeitsaspekte zu berücksichtigen. Insbesondere gilt dies für mikrosystemtechnische Anwendungen mit hohem Innovationsgrad. Im Rahmen dieser Veröffentlichung wird ein Überblick über qualitative und quantitave Methoden zur Bestimmung von Kenngrößen der Zuverlässigkeit gegeben. Ebenso werden die Grenzen und Fehler dieser Verfahren diskutiert.