Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen

Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert sowohl aus wirtschaftlichen als auch technologischen Gründen eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erhöhung des Automatisierungsgrades ist es insbesondere erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken, sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erhöhen. Zur Erreichung dieser Zielsetzung werden in der Arbeit die spezifischen Merkmale der Halbleiterfertigung analysiert und daraus die Anforderungen an ein darauf abgestimmtes, informationstechnisches Konzept aufgestellt. Dabei zeigt sich, daß der Anwendungsbereich die Elemente Bediener, Leittechnik, Fertigungsgerät und Fördergut umfassen muß. Nach einer Strukturierung von Fertigungsdaten und einer Definition von Fertigungsebenen und Organisationseinheiten wird basierend auf einem systemtechnischen Ansatz ein Spektrum von Lösungen für die integrierte , automatisierte Betriebsdatenerfassung, Prozeßdatenvorgabe und Fördergutidentifikation entwickelt und bewertet. Für die ausgewählte Lösung wird eine Konzeption durchgeführt und ein Prototyp entwickelt. Das System umfaßt die ortsfesten Komponenten Zellenserver und periphere Geräteintelligenz sowie die werkstückbegleitende Komponente des intelligenten Hordendatenträgers. Anhand von Erfahrungen aus einer Pilotimplementierung des entwickelten Systems werden die Einsatzmöglichkeiten und -grenzen des Informationssystems aufgezeigt.