Miniaturisiertes Halbleiterlaser-Interferometer für die industrielle Wegmessung

Es wird ein Halbleiterlaser-Interferometer beschrieben, mit welchem Weg- oder Längenmessungen im industriellen Anwendungsbereich durchgeführt werden können. Die Gesamtgrösse des Messkopfes einschliesslich Laserdiode als Strahlungsquelle, Kollimator, Strahlteiler, Referenzprisma und Detektor ist nur etwa 50x50x50 cbmm gross. Nach einer kurzen Darstellung des Messprinzips eines Michelson-Interferometers wird auf die Problematik der Weg- und Längenmessung mit Interferometern eingegangen. Es werden die Bedingungen diskutiert, unter denen mit dem vorgestellten System bei Wegmessungen im industriellen Bereich eine Genauigkeit von 1 mym bei einer Messstrecke von 1 m zu erreichen ist. (IPM)