Options
1990
Conference Proceeding
Title
Charakterisierung von Bulk-Punktdefekten in Si MOS-FET Strukturen mittels conductance-DLTS
Abstract
Zinnoxid ist ein bei Gassensorentwicklungen häufig verwendetes Material. Gasempfindliche und nicht-gasempfindliche Schichten konnten durch die Wahl der Parameter bei den reaktiven Sputtern und Tempern hergestellt werden und erlauben Rückschlüsse auf die Ursache der Gasempfindlichkeit und der mangelhaften Stabilität.