Optimierung der FIB-Präparation an vielkristallinen Al-Werkstoffen durch Orientierungsbestimmung mittels EBSD

Für die Beurteilung des Ausscheidungszustandes in Aluminiumbasislegierungen mittels Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) ist eine Orientierung der Probe in [100]-Richtung der Matrix erforderlich. TEMs, deren Objektivlinsen für hohe Auflösungen optimiert sind, haben meist begrenzte Kippwinkel für die Probe. Es muss daher bereits bei der Probenahme der geforderten Kristallorientierung Rechnung getragen werden. Mittels Elektronenrückstreubeugung wurde in einem grobkörnigen Material ein günstig orientiertes Korn ausgewählt und in einer geeigneten Richtung mittels In-situ Lift-out Methode im Focused Ion Beam Gerät präpariert. Die finale Korrektur der Orientierung im TEM beträgt dann unter 12°.

For the assessment of the precipitation state in aluminum-based alloys by transmission electron microscopy (TEM), the sample must have an orientation in the [100] direction of the matrix. TEMs equipped with objective lenses that are optimized for high resolution are mostly characterized by limited sample tilt angles. The required crystal orientation must thus be taken into account during sampling. A favorably oriented grain was chosen in a coarse-grained material using electron backscatter diffraction and prepared in a suitable direction applying the in-situ lift-out method in the focused ion beam device. After that, the final correction of the orientation in the TEM amounts to less than 12 degrees.