Heissgeprägte Glaswafer für Mikrosystemtechnikanwendungen

Heißprägen ist ein wirtschaftliches Verfahren zur Mikrostrukturierung von Gläsern. Auf Basis eines mathematischen Prozessmodells wurden die Grundlagen einer Prozessoptimierung zum Heißprägen von Mikrostrukturen in Flachglas gelegt. Des Weiteren wurde zur Verringerung von Hafterscheinungen zwischen Werkzeug und Glas sowie zur Verbesserung der Abformqualität und Wirtschaftlichkeit eine neue Beschichtungsstrategie qualifiziert. Die Ergebnisse der Forschungen zeigen das außerordentliche Potential der Heißprägetechnologie sowohl für optische als auch fluidische Anwendungen.