Inspektion technischer Oberflächen

In der Fertigung unter reinen Bedingungen spielt die Überwachung der Oberflächenreinheit von Produkten oder der Produktumgebung eine zentrale Rolle. Es werden typische Oberflächen, wie sie in Reinräumen anzutreffen sind, so wie die Einflussgrößen denen sie ausgesetzt sind, vorgestellt. Zur Überwachung dieser Oberflächen stehen eine ganze Reihe von Inspektionsverfahren zur Verfügung. Diese lassen sich grob in zwei Gruppen unterteilen: Messgeräte zur Erfassung von partikulären Kontaminationen und Messgeräte zum Nachweis von filmischen Kontaminationen. Weiterhin wird ein am Fraunhofer IPA entwickelter Oberflächenpartikelzähler vorgestellt.