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Abschlussarbeit
Untersuchung des Einflusses von Gitterleerstellen auf die Sauerstoffpräzipitation in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion
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1997
Doctoral Thesis
Title
Untersuchung des Einflusses von Gitterleerstellen auf die Sauerstoffpräzipitation in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion
Thesis Note
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996
Author(s)
Jacob, M.
Advisor(s)
Ryssel, H.
Publisher
Shaker
Publishing Place
Aachen
Language
German
IIS-B
Keyword(s)
diffusion
Fällung
Gitterbaufehler
Platin
Sauerstoff
silicium