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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Untersuchung des Einflusses von Gitterleerstellen auf die Sauerstoffpräzipitation in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion
 
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1997
Doctoral Thesis
Title

Untersuchung des Einflusses von Gitterleerstellen auf die Sauerstoffpräzipitation in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion

Thesis Note
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996
Author(s)
Jacob, M.
Advisor(s)
Ryssel, H.
Publisher
Shaker  
Publishing Place
Aachen
Language
German
IIS-B  
Keyword(s)
  • diffusion

  • Fällung

  • Gitterbaufehler

  • Platin

  • Sauerstoff

  • silicium

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