Ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem mit Temperaturkompensation und On-Chip gespeicherten Kalibrationsdaten

Es wird ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem vorgestellt. Die mit dem piezoresistiven Sensor integrierten Schaltungen ermöglichen neben der lastfreien Auslese der Brücke die Kalibration und Temperaturkompensation des Sensors ohne externe Bauelemente. Die Kalibrationsinformationen sind digital auf dem Chip gespeichert.