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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Plasmabehandlung von Oberflächen bei Umgebungsdruck
 
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1995
Journal Article
Title

Plasmabehandlung von Oberflächen bei Umgebungsdruck

Abstract
Für viele Unternehmen ist die Einführung der Plasmareinigung deshalb nicht attraktiv weil sie mit relativ hohen Investitions- und Betriebskosten für die erforderliche Vakuumtechnik verbunden ist. In manchen Füllen kann jedoch auf das Vakuum verzichtet und ein Plasma bei Atmosphärendruck eingesetzt werden.
Author(s)
Pochner, K.
Neff, W.
Journal
JOT + Oberfläche. Journal für Oberflächentechnik  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT  
Keyword(s)
  • Atmosphärendruck

  • Dünnschichttechnik

  • Gasdruck

  • Gasmoleküle

  • plasma

  • Spaltgeometrie

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