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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
 
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2015
Doctoral Thesis
Title

Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns

Abstract
Der vorliegende Band der ""Dresdener Beiträge zur Sensorik"" untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen.
Thesis Note
Zugl.: Dresden, TU, Diss., 2015
Author(s)
Barth, Stephan  
Publisher
TUDpress  
Publishing Place
Dresden
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
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