2000
Conference Paper
Title

3D-Analyse von Eigenspannungen in einkristallinen Halbleiterwafern mittels Infrarot-Raster-Polariskopie und hochaufgelöster Röntgenbeugung

Author(s)
Herms, M.
Melov, V.G.
Schreiber, J.
Fukuzawa, M.
Yamada, M.
Mainwork
Conference
Language
German