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Customized mems process development. A pressure sensor for high temperature and high pressure applications
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2010
Book Article
Title
Customized mems process development. A pressure sensor for high temperature and high pressure applications
Author(s)
Goehlich, A.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Vogt, H.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Debusmann, K.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Trieu, H.-K.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual Report 2009
Language
English
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
