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Transparente und leitfähige Oxidschichten
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2001
Journal Article
Title
Transparente und leitfähige Oxidschichten
Other Title
Transparent and conductive oxide layers
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Author(s)
Szyszka, B.
Journal
Vakuum in Forschung und Praxis
DOI
10.1002/1522-2454(200101)13:1<38::AID-VIPR38>3.0.CO;2-A
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
