Schichtdicken-Charakterisierung dünner, leitfähiger Schichtsysteme mittels Wirbelstromtechnik

Dünne Schichten werden erfolgreich in vielfältiger Weise in allen Bereichen der Wissenschaft, der Technik und der Medizin als Funktionsschichten eingesetzt. Die durch verschiedene Herstellungsverfahren (bspw. Aufdampfen, Sputtern, Chemische Gasphasenabscheidung) abgeschiedenen Schichten haben unterschiedliche Eigenschaften wie beispielsweise Haftfestigkeit oder spezifischer elektrischer Widerstand. Bei allen Applikationen spielt die Messung der Schichtdicke eine zentrale Rolle, da viele gewünschte Betriebs- und Gebrauchseigenschaften eine Funktion der Schichtdicke sind. Hier sind besonders Inline-fähige Verfahren gefragt, welche berährungslos arbeiten sowie sehr schnell und vakuumtauglich sind. Besonders bei Schichtsystemen mit Schichtdicken im höheren nm-Bereich und niedrigerem mikro m-Bereich und mehrschichtigen Schichtsystemen bieten sich Wirbelstromverfahren an. Durch spezielle Sensoren in Transmissionsanordnung sind solche Systeme sehr gut fur die Inline-Prüfung geeignet. Durch Optimierung von Messsystem, Sensoren und Auswertealgorithmen ist es möglich, die Grenzen des Messsystems stark aufzuweiten und sehr hohe Genauigkeiten zu erzielen. Im vorliegenden Bericht werden Messergebnisse mit Wirbelstrom-Transmissionsmesssystemen an verschiedenen, auch mehrlagigen, Schichtsystemen im Nanometerbereich vorgestellt.