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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen
 
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2001
Doctoral Thesis
Title

Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen

Thesis Note
Magdeburg, Univ., Diss., 2001
Author(s)
Schulze, M.
Publishing Place
Magdeburg
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Keyword(s)
  • Magnetronsputtern

  • Titan

  • Titandioxid

  • Glimmentladung

  • Plasmadiagnostik

  • Emissionsspektroskopie

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