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Abschlussarbeit
Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen
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2001
Doctoral Thesis
Title
Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen
Thesis Note
Magdeburg, Univ., Diss., 2001
Author(s)
Schulze, M.
Publishing Place
Magdeburg
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Keyword(s)
Magnetronsputtern
Titan
Titandioxid
Glimmentladung
Plasmadiagnostik
Emissionsspektroskopie