Reinraumtauglichkeit von Materialien

Zur Minimierung der Partikelemission in Reinräumen ist es u.a. notwendig, sämtliche reibungsbehaftete Vorgänge, z.B. in Fertigungsgeräten, die zu einer Partikelemission führen, zu optimieren. Einen wesentlichen Beitrag hierzu leistet die Verwendung reinraumtauglicher, d.h. vor allem partikelemissionsarmer Materialien bzw. Materialpaarungen. Die Untersuchung von Materialpaarungen hinsichtlich der Partikelemission erfordert spezielle reinraumgerechte Prüfverfahren und Prüfstände, da die Methoden und ERgebnisse konventioneller Materialuntersuchungen für die Reinraumtechnik nicht oder nur sehr eingeschränkt verwendbar sind. Über das Partikelemissionsverhalten vieler bereits heute in der Reinraumtechnik eingesetzter Materialien liegen praktisch keine Ergebnisse vor. Wie dies bisherigen Untersuchungen zeigen, gibt es zwischen verschiedenen Materialpaarungen z.T. extreme Unterschiede hinsichtlich der Zahl und Größe der emittierten Partikel. Teilweise läßt sich eine deutliche Verringerung der Partikelgröße mit zunehmender Prüfdauer feststellen. Die Verwendung von Füllstoffen kann eine extrem hohe Partikelemission zur Folge haben. Die Beanspruchung von Materialpaarungen unter Roll- statt Gleitreibung reduziert i.a. die Partikelemission erheblich. Bei Elastomeren, die einer Druck- und Biegewechselbeanspruchung unterzogen werden, gibt es ebenfalls sehr große Unterschiede bei der Partikelemission.