Richtlinienentwurf - Standardisierung von Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit

Untersuchungen der Reinraumtauglichkeit von Fertigungsgeräten müssen bestimmten Anforderungen genügen, sollen sie - insbesondere für den Geräteanwender - aussagekräftig sein. Im Zuge der Arbeiten eines vom BMFT geförderten Forschungsvorhabens, an dem sich das IPA, Stuttgart, und 20 Industriefirmen beteiligen, wurde ein Richtlinienentwurf geschaffen, der unter anderem eine in fünf Hauptschritten gegliederte Vorgehensweise bei Reinraumtauglichkeitsuntersuchungen skizziert.