Reparatur klarer Defekte auf Roentgenmasken durch laserpyrolytische Materialabscheidung

Die Reparatur defekter Absorberstrukturen auf Roentgenmasken erfordert die lokalisierte Abscheidung von material hoher Roentgenabsorption mit hoher vertikaler, aber geringer lateraler Ausdehnung. Es wurde untersucht, in welchem Masse Chrom, das laserpyrolytisch auf einer 2 Mikrometer dicken Si-Membran abgeschieden wurde, diese Anforderungen erfuellt. Hierzu wurde Laserstrahlung (Lambda = 488 nm) mit einer Leistung von maximal 40 mW auf die von Chromhexacarbonyl umgebene Membran-Oberflaeche fokussiert (Fokusdurchmesser 2 Mikrometer). Es wurde gezeigt, dass hiermit eine Aufloesung von 3 Mikrometer erreicht werden kann. Probleme ergaben sich daraus, dass zur Nukleation wesentlich hoehere Leistungsdichten erforderlich sind als zum anschliessenden Aufrechterhalten des Abscheidungsprozesses.