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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Excimerlaser-Bearbeitung von Epoxidharzschichten für MCML-Anwendungen, für Mikrobohrungen geeignet
 
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1994
Journal Article
Titel

Excimerlaser-Bearbeitung von Epoxidharzschichten für MCML-Anwendungen, für Mikrobohrungen geeignet

Author(s)
Kersten, P.
Glaw, V.
Reichl, H.
Zeitschrift
Productronic
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Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
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