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Excimerlaser-Bearbeitung von Epoxidharzschichten für MCML-Anwendungen, für Mikrobohrungen geeignet
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1994
Journal Article
Titel
Excimerlaser-Bearbeitung von Epoxidharzschichten für MCML-Anwendungen, für Mikrobohrungen geeignet
Author(s)
Kersten, P.
Glaw, V.
Reichl, H.
Zeitschrift
Productronic
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM