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Konferenzschrift
Dickenmessung an Mehrschichtsystemen mit Weißlichtinterferometer
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1996
Conference Paper
Title
Dickenmessung an Mehrschichtsystemen mit Weißlichtinterferometer
Author(s)
Grisar, R.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Riedel, W.J.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Mainwork
Trends in der industriellen Meßtechnik : Grundlagen, Anwendungen, Erfahrungen. VDE-Fachseminar
Conference
Verband Deutscher Elektrotechniker (Fachseminar) 1996
Language
German
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
