Materialien, Anforderungen und einfache Reinheitsprüfverfahren für Oberflächen der Reinraum-Fertigungsumgebung

Die Betrachtung der "Materialien für Reinraumanwendungen" konzentriert sich auf den Bereich der Fertigungsumgebung mit den Schwerpunkten Reinraum, Fertigungseinrichtungen und Verbrauchsgüter und beschreibt Anforderungen, Eigenschaften und Auswahl eingesetzter Materialien. Die Materialeigenschaften beschreiben das Verhalten des Materials bei unterschiedlichster Beanspruchung. Die Beanspruchungsart kann mechanisch, chemisch, energetisch und elektrisch sein. Jede dieser Beanspruchungsarten kann das Ablösen von Partikeln bewirken. Die häufigste Beanspruchungsart ist die mechanische Beanspruchung durch z.B. elastische Verformung, Vibration oder mechanischer Kontakt mit Relativbewegung. Bei dieser Beanspruchung werden materialspezifisch aus den Oberflächen Partikel unterschiedlicher Anzahl, Form und Größe emittiert. Die partikuläre Kontamination gilt heute noch als kritischste Kontaminationsart einer "reinen" Produktion. In der Halbleiterindustrie wird z.B. 10-20% des Auschuß der Partikelgen erierung von Materialoberflächen zugeschrieben.