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2017
Doctoral Thesis
Title
Epitaxie und Charakterisierung von AlGaN-basierten UV-Photodetektoren
Other Title
Epitaxie und Charakterisierung von UV-Photodetektoren auf der Basis des AlGaN-Schichtsystems
Abstract
AlGaN-Photodetektoren bieten erhebliche Vorteile gegenüber herkömmlichen Si-basierten Photodetektoren hinsichtlich der Zuverlässigkeit und der elektrooptischen Leistungseigenschaften. Schwerpunkt dieser Dissertation ist daher die metallorganische Gasphasenepitaxie und die Charakterisierung der AlGaN-Schichten zur Prozessierung von p-i-n-Photodioden für die Messung von UV-Strahlung.
Thesis Note
Zugl.: Freiburg/Brsg., Univ., Diss., 2016
Author(s)
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