Dipl.-Phys.

König, Niels

0000-0001-9163-8306

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Verfahren sowie Vorrichtung zur Prüfung geometrischer Eigenschaften optischer Komponenten

( 2019)
Krappig, Reik
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König, Niels
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Riediger, Max

Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Prüfung geometrischer Eigenschaften optischer Elemente aus Kunststoff oder Glas mittels Interferometrie vorgeschlagen, bei denen optische Kohärenztomographie eingesetzt und ein Volumenscan des zu prüfenden optischen Elements aufgenommen wird. In einer bevorzugten Ausführungsform wird zur Ermittlung der Form einer in Einstrahlrichtung des Messstrahls (4) hinter einer ersten Funktionsfläche (2) angeordneten zweiten Funktionsfläche (3) die Strahlungsbrechung an der ersten Funktionsfläche (2) berücksichtigt, wobei an Auftreffpunkten (P) des Messstrahls (4) auf der ersten Funktionsfläche (2) die jeweiligen Normalenvektoren (N) oder die lokalen Krümmungen der ersten Funktionsfläche (2) bestimmt werden.