Verfahren sowie Vorrichtung zur Prüfung geometrischer Eigenschaften optischer Komponenten

Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Prüfung geometrischer Eigenschaften optischer Elemente aus Kunststoff oder Glas mittels Interferometrie vorgeschlagen, bei denen optische Kohärenztomographie eingesetzt und ein Volumenscan des zu prüfenden optischen Elements aufgenommen wird. In einer bevorzugten Ausführungsform wird zur Ermittlung der Form einer in Einstrahlrichtung des Messstrahls (4) hinter einer ersten Funktionsfläche (2) angeordneten zweiten Funktionsfläche (3) die Strahlungsbrechung an der ersten Funktionsfläche (2) berücksichtigt, wobei an Auftreffpunkten (P) des Messstrahls (4) auf der ersten Funktionsfläche (2) die jeweiligen Normalenvektoren (N) oder die lokalen Krümmungen der ersten Funktionsfläche (2) bestimmt werden.

The invention relates to a method and a device for testing geometric properties of optical elements made of plastic or glass by means of interferometry, in which optical coherence tomography is used and a volume scan of the optical element to be tested is recorded. In a preferred embodiment, in order to determine the shape of a second functional surface (3) arranged behind a first functional surface (2) in the incidence direction of the measuring beam (4), the refraction at the first functional surface (2) is taken into consideration, wherein the respective normal vectors (Nn) or the local curvatures of the first functional surface (2) are determined at points of impingement (Pn) of the measuring beam (4) on the first functional surface (2).