Vorrichtung zur Ausbildung von amorphen Kohlenstoffschichten auf Bauteiloberflächen mit reduzierter Oberflächenrauheit

Bei der Vorrichtung zur Ausbildung von amorphen Kohlenstoffschichten auf Bauteiloberflächen mit reduzierter Oberflächenrauheit wird ein Plasma (8) unter Vakuumbedingungen mittels einer elektrischen Pulsstromquelle (5) zwischen einem als Kathode geschalteten Target (1), das zumindest überwiegend aus Grafit besteht und einen zumindest annähernd rechteckigen Querschnitt aufweist, und mindestens einer Anode (4) generiert. Plasma (8) ist durch einen Plasmakanal (12), der in einem Abstand zu der/den Anode(n) (4) und mindestens einem zu beschichtenden Bauteil einen Bereich (12') in einem Winkel zwischen 120° und 60° abgewinkelt ist, durch das Innere einer einzigen elektrischen Spule (6) mit rechteckigem Querschnitt zu mindestens einem Bauteil geführt. Die Spule (6) ist so an die elektrische Pulsstromquelle (5) angeschlossen, dass ein elektrischer Stromfluss durch die Spule (6) infolge eines Entladestromes der Pulsstromquelle (5) zur Generierung von Pulsen elektrischer Lichtbogenentladungen erfolgt und von der Spule (6) ein das Plasma (8) im Plasmakanal (12) umschließendes elektromagnetisches Feld ausgebildet ist.

In the device for forming amorphous carbon layers on component surfaces having reduced surface roughness, a plasma (8) is generated under vacuum conditions by means of an electric pulsed current source (5) between a target (1) connected as cathode, which target consists at least predominantly of graphite and has an at least approximately rectangular cross section, and at least one anode (4). Plasma (8) passes through a plasma duct (12), which is spaced apart from the anode(s) (4) and from at least one component to be coated and has an angled portion (12') that branches off at an angle between 120° and 60°, through the interior of a single electric coil (6) that has a rectangular cross-section and onto at least one component. The coil (6) is connected to the electric pulsed current source (5) in such a way that an electric current flows through the coil (6) due to a discharge current of the pulsed current source (5) in order to generate pulses of electric arc discharges and an electromagnetic field surrounding the plasma (8) in the plasma duct (12) is formed by the coil (6).