Verfahren zum Abtragen von sprödhartem Material mittels Laserstrahlung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtragen von sprödhartem Material mittels Laserstrahlung, bei dem sich durch den Abtrag eine Abtragsvertiefung mit einem Flankenwinkel w der Flanken der Abtragsvertiefung in dem Material ausbildet, wobei der Flankenwinkel w als der Winkel zwischen der Oberflächennormalen auf der Abtragsvertiefung und der Oberflächennormalen auf der nicht abgetragenen Oberfläche des Materials definiert ist, wobei während des Abtragens der Flankenwinkel w einen materialspezifischen Grenzwinkel wmax überschreitet, das dadurch gekennzeichnet ist, dass der Strahlradius der Laserstrahlung am Eintritt der Abtragsvertiefung so klein eingestellt wird, dass der Flankenwinkel w nahezu 90 Winkelgrade erreicht und die erreichbare Abtragstiefe mindestens um den Faktor 2 grösser wird als für einen grösseren Strahlradius, bei dem der Flankenwinkel kleiner als der materialspezifische Grenzwinkel wmax ist.

The invention relates to a method for removing brittle-hard material by means of laser radiation, wherein a removal depression having a flank angle w of the flanks of the removal depression forms in the material as a result of the removal, wherein the flank angle w is defined as the angle between the surface normal on a flank of the removal depression and the surface normal on the unremoved surface of the material, wherein the flank angle w exceeds a material-specific limit angle wmax during the removal. The beam radius of the laser radiation, at the entrance of the removal depression, is set to be small enough that the flank angle w attains almost 90 angular degrees and the achievable removal depth becomes greater at least by a factor of 2 than for a larger beam radius for which the flank angle is less that the material-specific limit angle wmax.