Sensor zur Zustandsbestimmung von Kenngroessen an mechanischen Komponenten unter Verwendung von amorphen Kohlenstoffschichten mit piezoresistiven Eigenschaften

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung von aktuellen Belastungen, die auf eine Oberflaeche einer mechanischen Komponente einwirken, wobei als Sensor eine vorzugsweise mit mindestens einem metallischen und/oder nichtmetallischen Element dotierte amorphe Kohlenwasserstoffschicht mit piezoresistiven Eigenschaften eingesetzt wird, die ueber Kontakte mit einem Messgeraet in Verbindung steht; weiter betrifft die vorliegende Erfindung die Verwendung von vorzugsweise mit metallischen und/oder nichtmetallischen Elementen dotierten Kohlenstoffschichten mit piezoresistiven Eigenschaften als Sensor fuer Belastungsmessungen sowie ein Verfahren zur Messung aktueller Belastungen an beanspruchten Oberflaechen von mechanischen Komponenten, wobei als Messsensor eine vorzugsweise mit metallischen und/oder nichtmetallischen Elementen dotierte amorphe Kohlenstoffschicht eingesetzt wird.

DE 19954164 A UPAB: 20010809 NOVELTY - Use of an amorphous carbon layer with piezo-resistive properties as a sensor for measuring actual condition parameters on surfaces of mechanical components is new. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM are also included for: (a) a process for measuring the actual condition parameters on surfaces of mechanical components using the above carbon layer as sensor; and (b) a sensor arrangement for measuring the actual condition parameters on surfaces of mechanical components, in which the carbon layer is connected to a measuring device via electrical contacts. Preferred Features: The amorphous carbon layer is doped with Si, Ti, W, Cr, Ta, Nb, V, Zr, Hf, Mo, Pb, Cu, Al, Au, Ag, Pt, Ru, Pd, Ni, Co, O, N, Ar, F and/or H. USE - For determining the pressure, force and mechanical load of mechanical components, e.g. machine parts and tools. ADVANTAGE - Temperature fluctuations can be taken into consideration. 4