Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines physikalischen Plasmas

Source: DE102013106315A1 [DE] Zum Erzeugen eines physikalischen Plasmas (15) werden zwei Elektroden (12, 13) in einem Abstand (11) angeordnet und wird eine Hochspannung zwischen den Elektroden (12, 13) angelegt, um eine Gasentladung (14) zwischen den Elektroden (12, 13) hervorzurufen. Ein Arbeitsgas (5) wird von jeder der beiden Elektroden (12, 13) weg in zwei sich kreuzenden Richtungen (7, 8) ausgeblasen, um zwischen den Elektroden (12, 13) eine V-foermige Entladungsstrecke (10) zu formen, laengs der sich die Gasentladung (14) erstreckt.