Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung unformer Schichten auf bewegten Substraten und derart hergestellten Schichten

Die Erfindung bezieht sich auf die Abscheidung optischer Präzisionsschichten mit hoher Uniformität, Präzision, Partikelfreiheit und geringer Absorption auf dem Substrat. Dazu wird ein Verfahren und eine Vorrichtung vorgeschlagen. Ansatz ist die Verwendung von Targetmaterialien sowie ggf. von Oberflächen im Sputterbereich. Es wird eine besonders hohe Uniformität als auch eine besonders geringe Restabsorption mit diesen Materialien erreicht. Die Erfindung eignet sich zur Herstellung optischer Dünnschichtfilter, wie sie beispielsweise in der Laser-Materialbearbeitung, Laserkomponenten, optischen Sensoren für die Messtechnik, oder in der medizinischen Diagnostik zum Einsatz kommen.

The invention relates to the deposition of optical precision layers on the substrate in a highly uniform, precise, and particle-free manner with a low absorption. For this purpose, a method and a device are proposed. According to the invention, target materials and if necessary surfaces in the sputter region are used. A particularly high uniformity as well as a particularly low residual absorption are achieved using said materials. The invention is suitable for producing optical thin layer filters such as those which are used in laser material machining, laser components, optical sensors for measuring equipment, or in medical diagnostics for example.