Verfahren zur Herstellung eines kontrolliert deformierbaren Funktionselementes sowie Funktionselement

Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung eines kontrolliert deformierbaren Funktionselementes mit wenigstens einem mit dem Funktionselement in Wirkverbindung stehenden und die kontrollierten Deformationen erzeugenden Aktuator mit elektrischen Kontaktanschluessen. Ferner wird ein diesbezuegliches Funktionselement mit bevorzugter Verwendung beschrieben. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass auf einer freiliegenden metallischen Materialoberflaeche eines metallischen Substrats wenigstens ein Piezoelement aufgebracht wird, und dass im Rahmen eines Metall-Abscheideprozesses das wenigstens eine Piezoelement, abgesehen von den elektrischen Kontaktanschluessen, vollstaendig von metallischem Material umgeben wird.

DE 10135962 C UPAB: 20030716 NOVELTY - Production of a controlled deformable functional element (1) comprises applying an actuator (4) on an exposed metallic material surface (3) of a metallic substrate (2); and surrounding the actuator apart from the contact connections with a metallic material in a metal deposition process. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for the controlled deformable functional element produced. Preferred Features: A metallic layer free from inner mechanical stresses is formed on the metallic substrate. A number of actuators are evenly distributed on the exposed metallic material surface. A PVD or CVD process is used as the metal deposition process. USE - Used as an optical element or valve element (claimed). ADVANTAGE - No weak points are produced between the actuator and the functional element.