Mikrooptisches reflektierendes Bauelement

Die Erfindung bezieht sich auf aktive mikrooptische reflektierende Bauelemente zur Anpassung bzw. Aenderung der Brennweite bzw. Fokuslage in optischen Systemen. Aufgabe der Erfindung ist es, ein miniaturisiertes reflektierendes mikrooptisches Bauelement zur Fokussierung bzw. Defokussierung einfallender elektromagnetischer Strahlung zur Verfuegung zu stellen, mit dem eine Variation der Brennweite einfach und mit geringem Aufwand erreichbar ist. Am erfindungsgemaessen Bauelement ist eine elastisch verformbare Membran, die zumindest mit einer reflektierenden Schicht aus einem ersten Stoff oder Stoffgemisch und mindestens einer weiteren Schicht oder Substrat, die/das aus einem zweiten Stoff oder Stoffgemisch gebildet ist, vorhanden. Erste und zweite Stoffe oder Stoffgemische weisen voneinander abweichende thermische Ausdehnungskoeffizienten auf. Ausserdem ist eine Heiz- oder Temperiereinrichtung vorhanden.

US 20070165297 A1 UPAB: 20071026 NOVELTY - The component has an elastically deformable silicon membrane formed with a set of electrically conducting layers (3) to reflect an electromagnetic radiation. The membrane is retained or clamped on a radially outer edge by using a set of suspensions, where the membrane is integrated with an electrical resistance heating mechanism. A structural element e.g. depression, is utilized for structuring the membrane to form a discontinuous curve during deformation. An integrated element e.g. piezoresistive sensor, determines the deformation of the membrane. USE - Used in a confocal microscope for detecting a barcode or a two-dimensional (2D) code, in an optical system that is utilized for focus tracking in compact disk appliance, digital versatile disc read/write appliance (all claimed). ADVANTAGE - The structural element e.g. depression, is utilized for structuring the membrane to form a discontinuous curve during deformation, thus enabling desired deformation profile. The utilization of the elastically deformable silicon membrane provides a variation in the focal distance simply at a low cost.