Messeinrichtung und Messverfahren zur Messung einer Messgröße mittels einer Beugungsmessung

Die Erfindung betrifft eine Messeinrichtung zur Messung einer Messgrösse mittels einer Beugungsmessung, mit einer Strahlungsquelle (1), die Strahlung emittiert, einem Gegenstand (7-9), der im Strahlengang der Strahlungsquelle (1) angeordnet ist, und einem Strahlungsdetektor (5), der im Strahlengang der Strahlungsquelle (1) hinter dem Gegenstand (7-9) angeordnet ist und ein Beugungsbild des Gegenstands (7-9) misst, insbesondere ein Fresnel-Beugungsbild.; Es wird vorgeschlagen, dass die zu messende Messgrösse eine Eigenschaft einer Umgebung des Gegenstands (7-9) ist, wobei die Messgrösse eine umgebungsabhängige Eigenschaftsgrösse des Gegenstands (7-9) beeinflusst, so dass die umgebungsabhängige Eigenschaftsgrösse des Gegenstands (7-9) die Messgrösse wiedergibt, während die umgebungsabhängige Eigenschaftsgrösse des Gegenstands (7-9) das Beugungsbild beeinflusst, so dass das gemessene Beugungsbild des Gegenstands (7-9) die umgebungsabhängige Eigenschaftsgrösse und damit auch die Messgrösse wiedergibt.