Bewegbares Piezoelement und Verfahren zum Herstellen eines bewegbaren Piezoelements

Die vorliegende Erfindung betrifft ein bewegbares Piezoelement und ein Verfahren zu dessen Herstellung. Das bewegbare Piezoelement ist mit einem strukturierten Substrat, bei dem zwischen einer ersten Substratschicht (100) und einer zweiten Substratschicht (102) eine Zwischenschicht (101) angeordnet ist, einer auf der zweiten Substratschicht (102) angeordnete ersten Elektrodenschicht (104) aus einem elektrisch leitfähigen, nicht-ferroelektrischen Werkstoff, einer auf der ersten Elektrodenschicht (104) angeordneten ferroelektrischen, piezoelektrischen bzw. flexoelektrischen Schicht (105) und einer auf dieser Schicht (105) angeordneten zweiten Elektrodenschicht (106) aus einem elektrisch leitfähigen, nicht-ferroelektrischen Werkstoff versehen. Die zweite Substratschicht (102) ist derart strukturiert, dass mindestens ein einseitig eingespannter Balken der zweiten Substratschicht (102) geformt ist, der räumlich beabstandet zu der ersten Substratschicht (100) ist und eine der ersten Substratschicht (100) abgewandte Oberfläche des Balkens und/oder eine Seitenfläche des Balkens zumindest teilweise mit einem Schichtstapel aus der ersten Elektrodenschicht (104), der ferroelektrischen, piezoelektrischen bzw. flexoelektrischen Schicht (105) und der zweiten Elektrodenschicht (106) bedeckt ist.