Aerostatisch gefuehrtes Tischsystem fuer die Vakuumanwendung

(A1) Es wird ein Tischsystem fuer die Vakuumanwendung mit einer Basisplatte und einem ueber aerostatische Lagereinheiten gefuehrten Verfahrtisch, wobei die Lagereinheiten (10) mit Zufuhr- und Absaugleitungen zum Zufuehren und Abfuehren des zum Betrieb der Lagereinheiten benoetigten Gases verbunden sind und jeweils mit einem zumindest einstufigen Dichtsystem aus Absaugkanal und Dichtspalt zur Abdichtung zum Vakuum versehen sind. Das Tischsystem ist dadurch gekennzeichnet, dass die aerostatischen Lagereinheiten (10) zumindest teilweise als Drehgelenke ausgebildet sind und mit dem drehenden Teil (21) jedes Drehgelenks eine von einem Antrieb (5) betaetigte Schubstange (4) zur lateralen Fuehrung des Verfahrtisches verbunden ist und dass die Schubstangen (4) hohl sind und Bestandteil der Absaugleitungen zum Abfuehren des Betriebsgases sind.

EP 2187434 A1 UPAB: 20100604 NOVELTY - The table system (1) has a base plate (2) and a moving table guided by aerostatic bearing units (10). The aerostatic bearing units are constructed partially as swivel joints, where a push rod (4) which is actuated by a drive (5) for guiding the moving table laterally is connected to the rotating part of each swivel joint, and in that the push rods are hollow and constitute a component part of the suction lines for extracting the operating gas. USE - Table system for vacuum application. ADVANTAGE - The aerostatic bearing units are constructed partially as swivel joints, where a push rod which is actuated by a drive for guiding the moving table laterally is connected to the rotating part of each swivel joint, and in that the push rods are hollow and constitute a component part of the suction lines for extracting the operating gas, and thus provides a dynamic table system with high stiffness.