Verfahren und Vorrichtung zum Ausbilden einer Struktur an einem Werkstück

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ausbilden einer Struktur an einem Werkstück mittels Bearbeitungsstrahlung, während das Werkstück mittels der Transportvorrichtung bewegt wird, wobei Korrekturdaten des Werkstücks mittels optischer Sensoren erfasst werden. Die Korrekturdaten weisen Bewegungsdaten des Werkstücks und/oder Positionsdaten einer mittels der Bearbeitungsstrahlung an dem Werkstück erzeugten Struktur auf und abhängig von den Korrekturdaten wird der Zeitpunkt der Bearbeitung und/oder die Ablenkung der Bearbeitungsstrahlung mittels einer Ablenkeinheit bestimmt, insbesondere korrigiert.