Vorrichtung und Verfahren zur optoelektrischen S-Parameter-Charakterisierung elektrischer Bauteile im Frequenzbereich oberhalb von 100 GHz

Source: DE102013112935B3 [DE] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur S-Parameter Charakterisierung von elektrischen Bauelementen, bei welchen eine Strahlungsquelle (001) ein Emitter (101) nachgeordnet ist, welcher an ein elektronisches Bauteil (121) angekoppelt und mit einem Detektor (111) verbunden ist sowie ein Verfahren zur Charakterisierung der S-Parameter des elektronischen Bauteils sowie die Verwendung der Vorrichtung in dem genannten Verfahren.