Verfahren und Vorrichtung zur Lagebestimmung eines auf einem Substrat angeordneten Bauteils

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (20) sowie ein Verfahren zur Lagebestimmung eines auf einem Substrat (10) angeordneten Bauteils (11). Das Verfahren beinhaltet das Bereitstellen eines Substrats (10) mit mindestens einer daran angeordneten Vorrichtung (12) zum Erfassen eines elektromagnetischen Felds, das Erzeugen einer zweckgebundenen Leiterbahnstruktur (13) auf dem Substrat (10), wobei die zweckgebundene Leiterbahnstruktur (13) zum Zwecke des Erzeugens eines elektromagnetischen Felds (14') mit bekannter Feldverteilung (14) vorgesehen ist, das Anlegen einer elektrischen Spannung an die zweckgebundene Leiterbahnstruktur (13), sodass die zweckgebundene Leiterbahnstruktur (13) das elektromagnetische Feld (14') mit der bekannten Feldverteilung (14) erzeugt, und das Erfassen des erzeugten elektromagnetischen Felds (14') mit der bekannten Feldverteilung (14) mittels der Vorrichtung (12) zum Erfassen eines elektromagnetischen Felds. Erfindungsgemäß wird die Lage des Bauteils (11) relativ zu dem Substrat (10) basierend auf der zuvor genannten Erfassung des elektromagnetischen Felds (14') mit der bekannten Feldverteilung (14) bestimmt.