Patent
Title

Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung eines Höhenprofils einer Oberfläche unter Verwendung einer länglichen Blende

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Vermessung eines Höhenprofils einer Oberfläche durch interferierende Überlagerung einer von der Oberfläche reflektierten und/oder gestreuten Objektwelle mit einer Referenzwelle.
Inventor(s)
Fratz, Markus  
Beckmann, Tobias
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Patent Number
102014223747
Publication Date
2016
Language
German