Anordnung zur optischen Messen der raeumlichen Form und Lage dreidimensionaler Koerper, insbesondere des Profils von Oberflaechen

Bei der Messung des Profils von Oberflaechen mit Hilfe des Lichtschnittverfahrens wird die Bestimmung der Position von Hell-Dunkel-Uebergaengen der projizierten Struktur (Gitter, Schlitz, Steg, Halbebene) durch oertliche Schwankungen des Reflexionsfaktors der Oberflaeche beeintraechtigt. Erfindungsgemaess werden zeitlich nacheinander mit dem gleichen optischen Beobachtungssystem die oertliche Verteilung des Reflexionsfaktors und die von der projizierten Struktur verursachte Helligkeitsverteilung der Oberflaeche gemessen und aus beiden Messungen die Hell-Dunkel-Uebergaenge berechnet. Die Projektion erfolgt unter Verwendung einer auf einem transparenten Traeger aufgedampften spiegelnden Struktur, die von einer Lichtquelle ueber zwei Strahlengaenge von vorn oder von hinten, jeweils unter 45Grad, beleuchtet wird. Einer der Beleuchtungsstrahlengaenge wird durch eine Unterbrechereinrichtung (Sektorenblende) zeitlich periodisch unterbrochen. Bei geoeffneter Unterbrechereinrichtung wird die Ob erflaeche gleichfoermig beleuchtet und dabei der Reflexionsfaktor bestimmt. Bei geschlossener Unterbrechereinrichtung wird die aufgedampfte Struktur auf der Oberflaeche abgebildet