Schichtdickenmessung durch Auswertung des Spektrums der Fluoreszenzemission

Verfahren zum Bestimmen einer Dicke (21) einer Schicht (20) einer fluoreszierenden Substanz, wobei die fluoreszierende Substanz einen wellenlängenabhängigen Absorptionskoeffizienten (α) und eine wellenlängenabhängige Fluoreszenz (Pem) aufweist, wobei der Absorptionskoeffizient (α) zumindest bei einer ersten oder einer zweiten Fluoreszenzwellenlänge einen von Null verschiedenen Wert aufweist und wobei das Verfahren die Schritte aufweistA) Anregen der Schicht (20) mit einer elektromagnetischen Anregungsstrahlung (11),B) Erfassen einer ersten Leistung einer von der Schicht (20) mit einer ersten Fluoreszenzwellenlänge abgestrahlten Fluoreszenzstrahlung (31),C) Erfassen einer zweiten Leistung einer von der Schicht (20) mit einer zweiten Fluoreszenzwellenlänge abgestrahlten Fluoreszenzstrahlung (32), wobei die erste Fluoreszenzwellenlänge und die zweite Fluoreszenzwellenlänge voneinander verschieden sind und wobei die erste und die zweite Leistung von Null verschiedene Werte aufweisen,D) Bilden eines Quotienten aus der ersten Leistung und der zweiten Leistung, undE) Ableiten der Dicke (21) der Schicht (20) aus dem Quotienten.