Elektronenstrahlverdampfer

Die Erfindung betrifft einen Elektronenstrahlverdampfer fuer Metalle als Verdampfungsgut, deren Verdampfungstemperatur kleiner als 1500°C ist, insbesondere fuer Aluminium, mit einem fluessigkeitsgekuehlten Tiegel. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Elektronenstrahlverdampfer anzugeben, mit dem eine energiesparende Verdampfung moeglich ist. Insbesondere sollen mit einem solchen Elektronenstrahlverdampfer auch kleinere Mengen von Aluminium in einer sehr kurzen Zeitdauer verdampft werden koennen. Geloest wird diese Aufgabe erfindungsgemaess dadurch, dass in den Tiegel ein hochtemperaturbestaendiger Behaelter (Liner) zur Aufnahme des Verdampfungsgutes eingesetzt ist, der aus einer elektrisch leitfaehigen Keramik besteht.

DE 19955428 A UPAB: 20010719 NOVELTY - Electron beam vaporizer comprises a high temperature container (3) made of an electrically conducting ceramic for receiving vaporized material (2) inserted into a liquid-cooled crucible (1). USE - For vaporizing aluminum. ADVANTAGE - The vaporizer has a low energy consumption and even very small amounts of aluminum can be vaporized over a short period of time.