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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Topografie einer Oberfläche

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) mit einer ersten Bilderfassungseinrichtung (11) mit einem ersten Erfassungsbereich (21) und einer zweiten Bilderfassungseinrichtung (12) mit einem zweiten Erfassungsbereich (22), wobei der erste Erfassungsbereich (21) und der zweite Erfassungsbereich (22) zumindest teilweise überlappen, und die Vorrichtung weiterhin zumindest eine Lichtquelle (31, 32, 33) aufweist, welche dazu eingerichtet ist, Licht aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen in zumindest einen Erfassungsbereich (21, 22) zu emittieren. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Bestimmung der Topografie einer Oberfläche (50) eines Prüflings (5).
Inventor(s)
Werling, Stefan
Stephan, Thomas  
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=1&ND=3&adjacent=true&locale=en_EP&FT=D&date=20160825&CC=DE&NR=102015203396A1&KC=A1#
Patent Number
102015203396
Publication Date
2016
Language
German
Fraunhofer-Institut für Optronik, Systemtechnik und Bildauswertung IOSB  
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