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Fraunhofer-Gesellschaft
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Title

Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Topografie einer Oberfläche

Date Issued
2016
Author(s)
Werling, Stefan
Stephan, Thomas
Patent No
102015203396
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) mit einer ersten Bilderfassungseinrichtung (11) mit einem ersten Erfassungsbereich (21) und einer zweiten Bilderfassungseinrichtung (12) mit einem zweiten Erfassungsbereich (22), wobei der erste Erfassungsbereich (21) und der zweite Erfassungsbereich (22) zumindest teilweise überlappen, und die Vorrichtung weiterhin zumindest eine Lichtquelle (31, 32, 33) aufweist, welche dazu eingerichtet ist, Licht aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen in zumindest einen Erfassungsbereich (21, 22) zu emittieren. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Bestimmung der Topografie einer Oberfläche (50) eines Prüflings (5).
Language
Deutsch
Institute
IOSB
Link
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=1&ND=3&adjacent=true&locale=en_EP&FT=D&date=20160825&CC=DE&NR=102015203396A1&KC=A1#
Patenprio
DE 102015203396 A1: 20150225
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